v  功能特點(diǎn)

ü 樣品尺寸8"

ü  液體介質(zhì)加熱、冷卻樣品臺(tái)，-70℃-200℃或-40℃-200℃可選

ü  樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30RPM可調(diào)

   ü  樣品臺(tái)可升降調(diào)節(jié)，0-100mm距離可調(diào)

      ü 帶有工藝恒溫器系統(tǒng)

ü  高速率蒸發(fā)源，蒸發(fā)源坩堝28cc，優(yōu)化的剝離工藝具有均勻和高度準(zhǔn)直的沉積通量,功率6kw,帶水冷功能

ü 可鍍膜厚度10um-15um

ü 可增加全自動(dòng)銦粒給料機(jī)，滿足更厚鍍膜厚度需求，厚度大于40um以上均可

ü  集成考夫曼離子源Gridded Ion Source

ü  全自動(dòng)在線膜厚檢測(cè)，8晶振探頭自動(dòng)切換，帶水冷

ü  LOAD-LOCK全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)

ü  高真空無(wú)油系統(tǒng)：低溫冷凝泵+前級(jí)干泵系統(tǒng)

v  蒸銦效果圖