v 功能特點
ü 本底真空-8Torr-10Torr
ü 四軸樣品臺，XYZ方向均可調(diào)節(jié)，可傾斜，可旋轉(zhuǎn)
ü RFICP射頻離子源
ü霍爾或考夫曼輔助離子源
ü 雙掩膜Dual mask
ü UpStream/Downstream控制
ü 膜厚監(jiān)控儀
ü 可增加OES等離子發(fā)射光譜儀定性分析等離子成分
ü 可增加RGA四極質(zhì)譜儀
ü 可增加進(jìn)樣室，手動/自動上下片基片
（可根據(jù)客戶要求定制）
公司產(chǎn)品
離子束刻蝕機(jī)
可用于刻蝕加工各種金屬（Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等）及其合金，以及非金屬、氧化物、氮化物、碳化物、半導(dǎo)體、聚合物、陶瓷、紅外和超導(dǎo)等材料。 離子束刻蝕在非硅材料方面優(yōu)勢明顯，在聲表面波、薄膜壓力傳感器、紅外傳感器等方面具有廣泛的用途。
上一條
離子束濺射發(fā)送詢盤