下游市場的快速發(fā)展促進(jìn)了原子層沉積設(shè)備的迅速發(fā)展。

薄膜沉積是指將特定材料沉積在基礎(chǔ)上形成薄膜，具有光學(xué)、電學(xué)等特殊性能。根據(jù)不同的工藝原理，可分為物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)設(shè)備。

原子層沉積設(shè)備是一種重要的膜沉積設(shè)備，由于ALD技術(shù)的表面化學(xué)反應(yīng)自限，具有優(yōu)良的三維共形性、大面積膜均勻性和準(zhǔn)確的膜厚控制，廣泛應(yīng)用于不同環(huán)境下的膜沉積、光伏、半導(dǎo)體、柔性電子、MEMS、催化、光學(xué)設(shè)備等先進(jìn)領(lǐng)域具有良好的工業(yè)化前景。

近年來，我國原子層沉積設(shè)備下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，推動了原子層沉積設(shè)備市場的快速發(fā)展。

在光伏領(lǐng)域，我國光伏產(chǎn)業(yè)在政策和人力資源的大力支持下發(fā)展迅速。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，中國正處于新一代智能手機、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G通信等行業(yè)快速崛起的過程中，已成為世界上重要的半導(dǎo)體應(yīng)用和消費市場之一。

在新顯示領(lǐng)域，中國的主流顯示技術(shù)是LCD和OLED。隨著行業(yè)的不斷升級，柔性電子、Mini/MicroLED等新顯示技術(shù)的市場規(guī)模將迅速提升。